微型磁通门传感器研究的现状与未来发展

• 作者: 兰慕杰 张雅茹 王东红
• 来源期刊: 遥测遥控
• 学科: 工学
• 关键词: +微型磁通门 传感器 MEMS
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 1-7，16
• 页数: 8页
• 分类号: TP21
• 字数: 3394字
• 语种: 中文

摘要

叙述微型磁通门传感器研究的现状.介绍微型磁通门传感器的结构和加工工艺.比较不同类型微型碰通门的差异,探讨微型磁通门传感器研究的发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张雅茹	哈尔滨工业大学电子科学与技术系	7	27	1.0	5.0
2	王东红	哈尔滨工业大学电子科学与技术系	6	62	5.0	6.0
3	兰慕杰	哈尔滨工业大学电子科学与技术系	4	35	2.0	4.0