多弧离子镀沉积氮化钛铝超硬膜的研究

• 作者: 于文馨 王希囡 田野 赵军
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 多弧离子镀 氮化钛铝超硬反应膜 膜层组织 硬度
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 热点追踪
• 页码范围: 8-10
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 1378字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2002.01.003

摘要

采用多弧离子镀技术沉积氮化钛铝超硬反应膜.考查了沉积工艺参数对膜层组织表面形态的影响,进行了显微硬度测定分析及膜层耐磨性实验,确定了氮化钛铝超硬反应膜的最佳沉积工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王希囡		3	25	3.0	3.0
2	于文馨		18	144	7.0	11.0
3	田野		4	21	2.0	4.0
4	赵军		7	50	4.0	7.0