真空微电子三极管静电场电容的计算机数值模拟

• 作者: 史宁 皮德富
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 真空微电子三极管 有限元法 电容 数值模拟
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 13-18
• 页数: 6页
• 分类号: TN112
• 字数: 5232字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2002.01.004

摘要

以静电学基本原理、场致发射原理为基础,用有限元法在求得圆锥形、楔形阴极真空微电子三极管内静电场各点场强的前提下,考虑以往计算中忽略的各电极之间、栅极厚度对器件电容的影响进行极间电容的计算.通过计算多导体系统电荷密度较为精确地求得了圆锥形、楔形阴极真空微电子三极管的极间电容,讨论了器件各几何参数与电容的关系,对器件的优化设计与高频应用具有指导作用.模拟结果与已报道的实验结果符合较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	皮德富		7	94	4.0	7.0
2	史宁		1	0	0.0	0.0