4×4区域调制多模干涉耦合器SOI光波导开关的设计

• 作者: 严清峰 余金中 刘忠立
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: SOI 区域调制 光开关 多模干涉耦合器
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: OEIC与IOC
• 页码范围: 174-177
• 页数: 4页
• 分类号: TN256
• 字数: 2720字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2002.03.008

摘要

根据区域调制多模干涉耦合器光开关的工作原理,以2×2区域调制多模干涉光开关为基础,采用级联的方式设计了4×4区域调制多模干涉SOI光波导开关.用有限差分二维BPM方法模拟了器件在不同工作状态下的光场传输情况.器件工作波长为1.55μm,在不计耦合损耗时器件的平均插入损耗小于2.0dB/cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘忠立	中国科学院半导体研究所微电子中心	77	412	12.0	14.0
2	余金中	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	110	703	13.0	21.0
3	严清峰	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	14	108	6.0	10.0