力学探针两步压入法研究(Ti,Al)N/AlN纳米多层膜的超硬效应

• 作者: 李戈扬 田家万 虞晓江 赖倩茜 韩增虎
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: 两步压入法 薄膜 纳米多层膜 超硬效应
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与应用
• 页码范围: 10-13
• 页数: 4页
• 分类号: TG115.5+1|O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2002.06.003

摘要

提出了采用毫牛力学探针技术对硬质薄膜的硬度和弹性模量等力学性能进行准确测量的两步压入法,并用此方法研究了(Ti,Al)N/AlN纳米多层膜的硬度和调制周期之间的关系.结果表明,该纳米多层膜体系的硬度和弹性模量随调制周期的减小单调增加, 并在调制周期为1.3nm时达到最高值HV=29.0GPa和E=383.0GPa,表明(Ti,Al)N/AlN纳米多层膜存在超硬度和超模量效应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李戈扬	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	109	1036	18.0	25.0
2	韩增虎	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	14	167	7.0	12.0
3	田家万	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	15	170	7.0	12.0
4	虞晓江	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	10	139	7.0	10.0
5	赖倩茜	上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室	10	128	7.0	10.0