日本不锈钢管超平滑拉拔技术的开发

• 来源期刊: 钢管
• 学科: 工学
• 关键词: 不锈钢管 超平滑拉拔技术 开发
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 国外钢管
• 页码范围: 48-51
• 页数: 4页
• 分类号: TG356.55
• 字数: 3552字
• 语种: 中文

摘要

半导体生产设备用的不锈钢管要求具有高的清洁性和内表面无尘埃、粗糙度低等特征,过去是采用(冷拔+光亮退火)或(冷拔+光亮退火+电解研磨)等方法生产.即使经过电解研磨,不锈钢管的内表面粗糙度Rmax仅＜1μm,且制作成本高.日本住友金属公司开发了带台阶顶头的超平滑拉拔技术,采用该技术生产的BAⅡ不锈钢管满足半导体设备用管的要求,其内表面粗糙度、发生尘埃指标均与电解研磨管相当,且制作成本大大降低.