脉冲激光溅射沉积YBCO超导薄膜

• 作者: 梁素平 蒋毅坚
• 来源期刊: 应用激光
• 学科: 工学
• 关键词: 脉冲激光溅射沉积 YBCO超导薄膜 最佳实验参数
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 页码范围: 236-240
• 页数: 5页
• 分类号: TN24
• 字数: 2504字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-372X.2002.02.042

摘要

从激光与材料相互作用理论出发,分析了激光烧蚀材料等离子体羽辉的空间运动特征和成分分布;以YBCO/SrTiO3为对象,从实验上系统研究了脉冲激光溅射沉积薄膜过程中薄膜质量与基片温度、基片-靶村距离、气体压强、激光脉冲能量以及重复频率等参数的关系;总结出在SrTiO3(100)单晶基片上溅射沉积YBCO高温超导薄膜的最佳实验参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋毅坚	北京工业大学国家产学研激光技术中心	100	628	12.0	21.0
2	梁素平	北京工业大学国家产学研激光技术中心	1	11	1.0	1.0