用于半导体微机械加工中温度控制的模糊专家系统

• 作者: 张福海 牛文成 罗伟栋 那兴波
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 温度控制 模糊专家系统 MEMS
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 页码范围: 189-192
• 页数: 4页
• 分类号: TP372+.4
• 字数: 2962字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2002.03.002

摘要

本文设计了一个控制温度的模糊专家系统,用在半导体微机械加工制作中,控制腐蚀装置的温度,在负载较重、加热功率较大的条件下,能够有效地使其满足腐蚀工艺的温度要求.与传统PID算法控制系统相比,本系统能够快速、长时间地稳定在设定的温度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	牛文成	南开大学信息学院微电子学系	48	515	11.0	21.0
2	张福海	南开大学信息学院微电子学系	17	37	4.0	5.0
3	罗伟栋	南开大学信息学院微电子学系	5	9	2.0	2.0
4	那兴波	南开大学信息学院微电子学系	7	20	3.0	3.0