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摘要:
本文设计了一个控制温度的模糊专家系统,用在半导体微机械加工制作中,控制腐蚀装置的温度,在负载较重、加热功率较大的条件下,能够有效地使其满足腐蚀工艺的温度要求.与传统PID算法控制系统相比,本系统能够快速、长时间地稳定在设定的温度.
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 用于半导体微机械加工中温度控制的模糊专家系统
来源期刊 传感技术学报 学科 工学
关键词 温度控制 模糊专家系统 MEMS
年,卷(期) 2002,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 189-192
页数 4页 分类号 TP372+.4
字数 2962字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1004-1699.2002.03.002
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 牛文成 南开大学信息学院微电子学系 48 515 11.0 21.0
2 张福海 南开大学信息学院微电子学系 17 37 4.0 5.0
3 罗伟栋 南开大学信息学院微电子学系 5 9 2.0 2.0
4 那兴波 南开大学信息学院微电子学系 7 20 3.0 3.0
传播情况
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引文网络
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研究主题发展历程
节点文献
温度控制
模糊专家系统
MEMS
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
传感技术学报
月刊
1004-1699
32-1322/TN
大16开
南京市四牌楼2号东南大学
1988
chi
出版文献量(篇)
6772
总下载数(次)
23
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