反应气体配比对C/SiC复合材料ICVI工艺沉积性能的影响

• 作者: 傅立坤 宋麦丽 王涛 邹武 闫联生
• 来源期刊: 固体火箭技术
• 学科: 工学
• 关键词: 均热法化学气相渗透 碳/碳化硅复合材料 反应气体
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 材料工艺
• 页码范围: 59-62
• 页数: 4页
• 分类号: TB33
• 字数: 3295字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-2793.2002.03.018

摘要

研究了均热法化学气相渗透工艺过程中反应气体浓度、配比及流动对沉积物和复合材料性能的影响,提出了一种简单反应气体在线监控法.XRD分析结果表明,当H2/MTS摩尔比在2～5之间时,可沉积出纯净均匀的碳化硅基体;而H2/MTS摩尔比小于1时,沉积物中含有大量自由碳.SEM分析表明,甲基三氯硅烷的浓度对沉积速率和沉积深度影响很大,随着甲基三氯硅烷的浓度减小,沉积深度增大,但甲基三氯硅烷的浓度减小引起沉积速率下降,沉积周期延长.确保炉内反应气体流动畅通,可提高沉积的均匀性和沉积速率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闫联生	中国航天科技集团公司四院四十三所	11	212	8.0	11.0
2	王涛	中国航天科技集团公司四院四十三所	12	118	6.0	10.0
3	邹武	中国航天科技集团公司四院四十三所	8	178	6.0	8.0
4	傅立坤	中国航天科技集团公司四院四十三所	2	32	2.0	2.0
5	宋麦丽	中国航天科技集团公司四院四十三所	4	66	3.0	4.0