深亚微米ULSI工艺检测技术——扫描探针显微镜

• 作者: 唐凌 王家楫
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: SPM ULSI 微分析
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 38-42
• 页数: 5页
• 分类号: TN305|TN407
• 字数: 4395字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2002.02.009

摘要

扫描探针显微镜(SPM)是80年代发展起来的一种具有超高空间分辨率的显微技术.扫描探针显微镜功能强大,在表面科学、生命科学、微电子工业等许多领域得到广泛的运用.随着集成电路的线宽进入深亚微米阶段,扫描探针显微镜在ULSI工艺表征中显得日益重要.本文将介绍扫描探针显微镜及其在微电子工艺和器件微分析中的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王家楫	复旦大学国家微分析中心	25	114	6.0	9.0
2	唐凌	复旦大学国家微分析中心	3	6	2.0	2.0