用双线阵CCD实现高准确度微孔自动测量

• 作者: 张忠民 李开端
• 来源期刊: 宇航计测技术
• 学科: 工学
• 关键词: +夫琅和费衍射 +微孔 +线阵CCD 测量
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 页码范围: 25-28
• 页数: 4页
• 分类号: TP391
• 字数: 1290字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7202.2002.02.006

摘要

介绍了一种使用线阵CCD自动测量微小圆孔参数的方法.基于微小圆孔的夫琅和费衍射原理,使用正交线阵CCD实现了对微孔的直径和圆度误差的二维参数的自动测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李开端		40	236	9.0	13.0
2	张忠民		6	18	3.0	4.0