化学镀铜的进展

• 作者: 付志勇 伍建华 熊海平 萧以德
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 化学镀铜 工艺 机理
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 5-6,11
• 页数: 3页
• 分类号: TQ153.1+4
• 字数: 3582字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2002.06.002

摘要

综述了化学镀铜的应用领域,化学镀铜工艺的研究进展,简述了化学镀铜机理的研究现状,提出了有待进一步深入研究的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	萧以德		40	467	13.0	19.0
2	熊海平		2	66	2.0	2.0
3	伍建华		7	101	4.0	7.0
4	付志勇		3	90	3.0	3.0