微光机电系统(MOEMS)的研究现状及展望

• 作者: 李云龙 殷玲 陈非凡
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微光机电系统(MOEMS) 微机电系统(MEMS) 微机械加工技术
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 综述报告
• 页码范围: 1-7
• 页数: 7页
• 分类号: TN271+.4|O43
• 字数: 4340字
• 语种: 中文

摘要

微机械加工技术的发展为MEMS与微光学技术的结合应用提供了可能.MOEMS作为一个新兴的多学科交叉的研究领域正在兴起.着重介绍了建立在MEMS工艺基础上的MOEMS技术近年研究和开发取得的一些新进展及国内研究现状,阐述了MOEMS的基本特征,列举了一些典型的MOEMS系统,并分析了MOEMS技术的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈非凡	清华大学精密仪器及机械学系	22	204	7.0	14.0
2	李云龙	清华大学精密仪器及机械学系	6	86	5.0	6.0
3	殷玲	清华大学精密仪器及机械学系	7	76	4.0	7.0