一维深亚波长光栅的耦合波分析及偏振特性的研究

• 作者: 周进 王晓伟 袁惠 黄信凡
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 一维深亚波长光栅 严格耦合波分析 偏振特性
• 年，卷（期）: 2002,（9）
• 所属期刊栏目: 实验技术与元件
• 页码范围: 795-800
• 页数: 6页
• 分类号: TH741.6|O436.1|O436.3
• 字数: 3658字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2002.09.008

摘要

讨论了一种新的一维深亚波长光栅,其周期结构由等离子体增强化学气相淀积法(PECVD)制备的周期性多层膜构成.简单介绍了这种深亚波长光栅的制作方法.采用严格耦合波分析(RCWA)理论计算了这种一维深亚波长光栅的衍射效率,分析了它的偏振特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周进	南京大学物理系	60	427	11.0	17.0
2	黄信凡	南京大学物理系	11	88	4.0	9.0
3	袁惠	南京大学物理系	2	39	1.0	2.0
4	王晓伟	南京大学物理系	1	38	1.0	1.0