用三氟化硼气体进行离子渗硼

• 作者: 张茵芳 熊有平 熊爱国 王凯
• 来源期刊: 热处理技术与装备
• 关键词: 三氟化硼 等离子渗硼
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 工艺
• 页码范围: 21-24
• 页数: 4页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-4971.2002.06.007

摘要

固体渗硼过程中气体成分分析的研究成果,为三氟化硼作为活性气体的离子渗硼研究奠定了基础.通过对比不同碳素钢渗硼层的特性曲线,进行了工艺参数优化,从而获得深度40～50μm,硬度1 500～2 00HV的渗硼层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊爱国		1	13	1.0	1.0
2	熊有平		1	13	1.0	1.0
3	张茵芳		1	13	1.0	1.0
4	王凯		3	25	2.0	3.0