扫描电镜低加速电压在样品分析中的应用研究

• 作者: 陶淑凤
• 来源期刊: 矿冶
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描电镜 加速电压 电子束 扩散区 线扫描 面分布 特征X射线
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 环保与分析检测
• 页码范围: 85-88,71
• 页数: 5页
• 分类号: TG115.21+5.7
• 字数: 3211字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-7854.2002.02.023

摘要

根据"在低加速电压下,电子束在样品中产生的扩散区小"的原理,对各类样品做了一些实验性的研究工作,结果发现:在7.5kV加速电压下,对导电性差的样品做形貌分析时,避免了在20kV加速电压下样品的充、放电现象,提高了图像的分辨率,可改善图像质量;对几微米的细小颗粒做定性分析时,克服了在20kV加速电压下分析区域之外所含元素的X射线的干扰,易于得出正确结论;在高倍下做元素的线扫描、面分布时,由于扩散区小,所得的特征X射线像边界清晰、视觉效果好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陶淑凤		4	25	3.0	4.0