MEMS可调式光衰减器性能测试及其分析

• 作者: 戴旭涵 李文军 蔡炳初 赵小林
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械 可调试光衰减器 插入损耗 回波损耗 衰减精度
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 60-65
• 页数: 6页
• 分类号: TN271+.4|TN715
• 字数: 3395字
• 语种: 中文

摘要

采用微细加工的方法研制出了一种可调式微机械光衰减器,对该衰减器的性能进行了测试,并对影响其光学性能的因素作了分析.测试表明,该衰减器的插入损耗＜3dB,衰减范围0～40dB,回波损耗＜-45dB,衰减精度可达0.1dB.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡炳初	上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细加工技术国家级重点实验室	49	769	15.0	26.0
2	赵小林	上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细加工技术国家级重点实验室	56	549	13.0	20.0
3	李文军	上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细加工技术国家级重点实验室	34	231	10.0	14.0
4	戴旭涵	上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细加工技术国家级重点实验室	8	146	6.0	8.0