化学气相沉积金刚石薄膜衬底的研究进展

• 作者: 文命清 王天旭 蒙继龙
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 衬底材料 预处理
• 年，卷（期）: 2002,（9）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 16-18
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.444
• 字数: 3775字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-6051.2002.09.005

摘要

讨论了化学气相沉积金刚石薄膜的各种衬底材料.气相合成金刚石衬底材料分为3类,第一类是能和碳形成碳化物的衬底;第2类是与碳不起反应(不形成碳化物)但能溶碳的衬底;第3类是既不与碳反应又不溶碳的衬底.第一种一般与金刚石薄膜有比较好的粘合性,后两种虽然使金刚石成核容易,但衬底材料与金刚石薄膜结合性较差.采用预处理是促进化学气相沉积金刚石薄膜与增强结合力非常有效的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒙继龙	华南理工大学机械工程学院	56	634	15.0	23.0
2	王天旭	华南理工大学机械工程学院	6	98	5.0	6.0
3	文命清	华南理工大学机械工程学院	2	60	2.0	2.0