ZrO/W肖特基发射阴极的研制

• 作者: 周庆 戴宏 潘尔达 陈尔纲
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 肖特基发射 阴极 功函数 电解腐蚀法
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 11-14,23
• 页数: 5页
• 分类号: O462
• 字数: 2679字
• 语种: 中文

摘要

研制成功了一种实用的低功函数肖特基发射阴极-锆/钨(ZrO/W)阴极.这种阴极是在改进的电解腐蚀法制成的W单晶尖端表面,采用特别的涂覆法或蒸镀法,形成含ZrO膜层,并经特殊处理后得到的.实验测出了这种阴极在适当条件下的功函数值为2.86电子伏特左右,低于钨阴极的功函数值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周庆	云南大学物理系	18	90	6.0	9.0
2	陈尔纲	云南大学物理系	14	23	3.0	4.0
3	戴宏	云南大学物理系	18	70	6.0	7.0
4	潘尔达	云南大学实验室管理处	1	1	1.0	1.0