原文服务方: 原子能科学技术       
摘要:
以磁控溅射沉积方法,采用循环氩离子轰击镀和未循环轰击镀工艺在金属铀上制备了铝薄膜.俄歇电子能谱分析结果表明:循环氩离子轰击镀获得的铝薄膜和铀基体的界面扩散比未循环轰击镀的显著增强,且界面发生化学反应,生成了UAl3和Al2O3相.
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文献信息
篇名 金属铀与铝薄膜界面的俄歇电子能谱研究
来源期刊 原子能科学技术 学科
关键词 铝薄膜 循环氩离子轰击镀 俄歇电子能谱
年,卷(期) 2002,(3) 所属期刊栏目 四川省核学会放射化学与化工核燃料与材料专委会2001年学术交流会论文选
研究方向 页码范围 202-204
页数 3页 分类号 O657.62
字数 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1000-6931.2002.03.003
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 鲜晓斌 47 280 10.0 12.0
2 汪小琳 82 376 11.0 13.0
3 吕学超 29 121 6.0 9.0
4 张永彬 10 65 5.0 8.0
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研究主题发展历程
节点文献
铝薄膜
循环氩离子轰击镀
俄歇电子能谱
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
原子能科学技术
月刊
1000-6931
11-2044/TL
大16开
北京275信箱65分箱
1959-01-01
中文
出版文献量(篇)
7198
总下载数(次)
0
总被引数(次)
27955
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