超精密定位工作台

• 作者: 吴鹰飞 周兆英
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密定位
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 41-47
• 页数: 7页
• 分类号: TN305
• 字数: 4492字
• 语种: 中文

摘要

在许多高技术领域需要超精密工作台作为其技术支持.就电磁式工作台、直线电机式工作台、压电式工作台、摩擦驱动式工作台、MEMS工作台和其它类型工作台的原理、性能和应用作了介绍.并分析了它们各自的特点.根据不同的应用要求可选用合适的超精密定位方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周兆英	清华大学精密仪器与机械学系	205	3706	31.0	54.0
2	吴鹰飞	清华大学精密仪器与机械学系	13	924	9.0	13.0