热丝辅助裂解法制备聚对二甲苯薄膜

• 作者: 余斌 张占文 李波 王朝阳 钟志京
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 聚对二甲苯 薄膜 热丝
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 新技术研究
• 页码范围: 29-31
• 页数: 3页
• 分类号: TL632|TB43
• 字数: 2027字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2002.04.007

摘要

聚对二甲苯因其优异的物理化学性质而被广泛应用于半导体、传感器和库存武器防护等.本文主要研究了热丝辅助裂解电阻蒸发法制备该薄膜的制备工艺,并采用红外、质谱和热重等分析方法对薄膜的成分进行初步分析.分析表明在热丝的辅助裂解作用下,在较低的温度下就可聚合成膜,薄膜中主要成分是聚对二甲苯,但同时存在一定比例的交联成分.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张占文		1	3	1.0	1.0
2	钟志京		1	3	1.0	1.0
3	王朝阳		1	3	1.0	1.0
4	李波		1	3	1.0	1.0
5	余斌		1	3	1.0	1.0