离子束诱导电荷显微术的现状与发展趋势

• 作者: 朱德彰 裘惠源 陆荣荣
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 核子微探针 离子束诱导电荷显微术
• 年，卷（期）: 2002,（8）
• 页码范围: 591-596
• 页数: 6页
• 分类号: O571.33
• 字数: 5142字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2002.08.006

摘要

离子束诱导电荷显微术(IBIC)是核子微探针显微成像技术的又一新发展,它具有低束流(fA量级)、高效率的特点,已被广泛应用于半导体材料和微电子材料研究中.本文简述了离子束诱导电荷显微术(IBIC)的原理和实验方法,综述了IBIC研究的现状和进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱德彰	中国科学院上海原子核研究所	26	83	5.0	8.0
2	陆荣荣	中国科学院上海原子核研究所	12	143	5.0	11.0
3	裘惠源	中国科学院上海原子核研究所	5	97	3.0	5.0