电子束背散射在胶层中的能量沉积

• 作者: 孙晓军 尹明 张玉林
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束 能量沉积 几率法 散射
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 6-9,26
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1981字
• 语种: 中文

摘要

模拟了散射电子在PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)电子束胶层中的能量沉积分布.在处理电子穿越衬底的边界时,采用了几率确定法,用以判断电子是否在界面处发生一次弹性散射.并完成了散射电子在电子束胶层中的前散射和背散射的能量沉积分布图.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张玉林	山东大学南区电子束科研室	56	465	11.0	19.0
2	尹明	山东大学南区电子束科研室	15	74	4.0	8.0
3	孙晓军	山东大学南区电子束科研室	5	17	3.0	3.0