纳米器件的制备、表征及其应用

• 作者: 傅英 刘淑琴 庞科 李卫 李宏伟 王太宏 王振霖 王春花 符秀丽 赵继刚
• 来源期刊: 物理
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳米器件 碳纳米管晶体管 单电子晶体管 纳米加工
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 研究快讯
• 页码范围: 4-6
• 页数: 3页
• 分类号: O4
• 字数: 2454字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0379-4148.2002.01.002

摘要

利用建立的常规光刻法的纳米加工工艺系统,研制碳纳米管晶体管、单电子晶体管和单电子晶体集成的纳米器件.研制出了90K的单电子晶体管,实现了两单电子晶体管的电容耦合集成、多个单电子晶体管的串联集成以及单电子晶体管与传统器件的集成.