基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
详细介绍了各种制备氧化锌薄膜的方法,包括磁控溅射法、化学气相沉积法、喷雾热解法、溶胶凝胶法、激光脉冲沉积法、分子束外延法、原子层外延生长法.阐述了这些方法的机理、沉积条件、所需的反应物以及制得的薄膜的性质.讨论并比较了各种方法的优缺点和应用于器件及工业生产的可能性.
推荐文章
超声喷雾热分解法制备p型氧化锌多晶薄膜
ZnO
p型传导
喷雾热分解
N-Al共掺
光致发光
氧化锌半导体材料的性能研究与制备进展
氧化锌
半导体材料
薄膜
光电性能
MOCVD法氧化锌单晶薄膜生长
氧化锌
金属有机化学气相沉积
薄膜
生长
掺铝氧化锌薄膜的光电性能
掺铝氧化锌薄膜
透射率
电阻率
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 氧化锌薄膜制备技术的评价
来源期刊 真空科学与技术学报 学科 工学
关键词 氧化锌 薄膜 制备技术
年,卷(期) 2002,(4) 所属期刊栏目 综述评论
研究方向 页码范围 282-286,309
页数 6页 分类号 TN304|O55|TN305.8
字数 4792字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1672-7126.2002.04.009
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 季振国 浙江大学硅材料国家重点实验室 48 467 12.0 19.0
2 刘坤 浙江大学硅材料国家重点实验室 12 201 6.0 12.0
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (15)
共引文献  (49)
参考文献  (15)
节点文献
引证文献  (58)
同被引文献  (36)
二级引证文献  (80)
1989(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1993(2)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(1)
1994(3)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(2)
1995(2)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(2)
1996(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
1997(5)
  • 参考文献(2)
  • 二级参考文献(3)
1998(4)
  • 参考文献(3)
  • 二级参考文献(1)
1999(4)
  • 参考文献(3)
  • 二级参考文献(1)
2000(6)
  • 参考文献(2)
  • 二级参考文献(4)
2001(2)
  • 参考文献(2)
  • 二级参考文献(0)
2002(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
2003(3)
  • 引证文献(3)
  • 二级引证文献(0)
2004(5)
  • 引证文献(5)
  • 二级引证文献(0)
2005(5)
  • 引证文献(4)
  • 二级引证文献(1)
2006(12)
  • 引证文献(7)
  • 二级引证文献(5)
2007(15)
  • 引证文献(6)
  • 二级引证文献(9)
2008(17)
  • 引证文献(8)
  • 二级引证文献(9)
2009(11)
  • 引证文献(4)
  • 二级引证文献(7)
2010(6)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(5)
2011(11)
  • 引证文献(4)
  • 二级引证文献(7)
2012(9)
  • 引证文献(3)
  • 二级引证文献(6)
2013(12)
  • 引证文献(3)
  • 二级引证文献(9)
2014(9)
  • 引证文献(5)
  • 二级引证文献(4)
2015(7)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(6)
2016(4)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(3)
2017(7)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(6)
2018(2)
  • 引证文献(2)
  • 二级引证文献(0)
2019(3)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(3)
研究主题发展历程
节点文献
氧化锌
薄膜
制备技术
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空科学与技术学报
月刊
1672-7126
11-5177/TB
大16开
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
1981
chi
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
3
总被引数(次)
19905
相关基金
国家重点基础研究发展计划(973计划)
英文译名:National Basic Research Program of China
官方网址:http://www.973.gov.cn/
项目类型:
学科类型:农业
论文1v1指导