氧化锌薄膜制备技术的评价

• 作者: 刘坤 季振国
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌 薄膜 制备技术
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 综述评论
• 页码范围: 282-286,309
• 页数: 6页
• 分类号: TN304|O55|TN305.8
• 字数: 4792字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2002.04.009

摘要

详细介绍了各种制备氧化锌薄膜的方法,包括磁控溅射法、化学气相沉积法、喷雾热解法、溶胶凝胶法、激光脉冲沉积法、分子束外延法、原子层外延生长法.阐述了这些方法的机理、沉积条件、所需的反应物以及制得的薄膜的性质.讨论并比较了各种方法的优缺点和应用于器件及工业生产的可能性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	季振国	浙江大学硅材料国家重点实验室	48	467	12.0	19.0
2	刘坤	浙江大学硅材料国家重点实验室	12	201	6.0	12.0