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硅基MEMS技术
微电子机械系统
牺牲层
体硅工艺
深刻蚀
MEMS开关技术的研究与进展
MEMS
电源滤波器
电磁兼容
EMI
基于MEMS技术的微型阀研究
微机电系统
微推进系统
静电微型阀
压电微型阀
MEMS在汽车电器电子技术中的应用现状与发展趋势
MEMS器件
微系统
汽车电器电子技术
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 MEMS技术应用日趋广泛
来源期刊 电子电路与贴装 学科 工学
关键词 MEMS技术 应用 微电子机械系统
年,卷(期) 2002,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 54
页数 1页 分类号 TH111
字数 语种
DOI
五维指标
传播情况
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引文网络
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2002(0)
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研究主题发展历程
节点文献
MEMS技术
应用
微电子机械系统
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子电路与贴装
双月刊
1683-8807
深圳市富田区华发北路30号中国电子工程设
出版文献量(篇)
1505
总下载数(次)
2
总被引数(次)
0
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