真空混合漏孔示漏气体的延迟和保持特性研究

• 作者: 史小军 堵国梁 朱为 毛福明 王辉
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 真空漏孔 检漏 混合漏孔
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 296-298,302
• 页数: 4页
• 分类号: TN108.6
• 字数: 2111字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2002.04.013

摘要

真空混合漏孔,如漏孔通道内含有空腔、毛细管道等,示漏气体除存在超长反应时间外,还存在超长的延迟时间和保持时间.只有经该延迟时间后,检漏仪才能探得信号.为满足真空元件在生产中的快速检漏的要求,又避免常规质谱检漏法漏检混合漏孔的可能性,在真空室内对检漏元件集体充氦,然后在保持期内逐个检测氦气浓度来判断有无混合漏孔;也可用质谱计比较残余气质谱图中空气成分来确定.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱为	东南大学电子工程系	24	295	8.0	17.0
2	堵国梁	东南大学电子工程系	14	261	8.0	14.0
3	史小军	东南大学电子工程系	27	411	11.0	20.0
4	毛福明	东南大学电子工程系	12	38	3.0	5.0
5	王辉		68	345	10.0	12.0