热物理性质测试技术研究现状和发展趋势

• 作者: 奚同庚 谢华清
• 来源期刊: 上海计量测试
• 学科: 工学
• 关键词: 热物理性质 测试技术
• 年，卷（期）: 2002,（5）
• 所属期刊栏目: 综述评论
• 页码范围: 7-12
• 页数: 6页
• 分类号: TK3
• 字数: 5548字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2235.2002.05.002

摘要

本文在对热物理性质研究在热能工程、材料科学、信息科学、航天工程、环境工程、生物科学、微电子技术和计量学等众多科技领域中的重要性进行探讨的基础上,评述了热物理性质测试技术的研究现状和发展趋势.鉴于薄膜材料在微电子器件、集成电路和微电子机械系统等领域中日益广泛的应用,本文还综述了亚微米--纳米尺度薄膜材料热导率和热扩散率的测试新技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	奚同庚	中国科学院上海硅酸盐研究所无机材料分析测试中心	21	426	9.0	20.0
2	谢华清	中国科学院上海硅酸盐研究所无机材料分析测试中心	15	459	8.0	15.0