溅射MoS2膜对轴承形状及尺寸精度的影响

• 作者: 李娟 李建华 田林涛
• 来源期刊: 轴承
• 学科: 工学
• 关键词: 溅射 固体润滑剂 固体膜润滑 形位偏差
• 年，卷（期）: 2002,（7）
• 所属期刊栏目: 试验与分析
• 页码范围: 30-32
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.442
• 字数: 1742字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3762.2002.07.011

摘要

溅射法形成固体润滑膜是一种先进的加工工艺,MoS2是真空润滑性能最好的固体润滑剂,溅射MoS2膜的润滑性与基体材料及工艺参数有关.对不同基体材料、不同尺寸的轴承采用不同的溅射参数溅射MoS2膜,分析了镀膜对轴承尺寸及形状精度的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李建华		14	338	10.0	14.0
2	田林涛		4	24	2.0	4.0
3	李娟		3	9	1.0	3.0