智能石英晶振真空计的软件设计

• 作者: 凌明芳 王华萍 齐本胜
• 来源期刊: 浙江大学学报(工学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 真空计 智能 石英晶振 软件
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 信息、计算机工程
• 页码范围: 52-55
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.6
• 字数: 3075字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2002.01.013

摘要

介绍了用于石英晶振真空计的数据采集、气压频率非线性曲线拟合、低气压下温度补偿等诸多的软件设计.由单片机采集的经V/F转换后的输出信号fp与石英晶振的谐振频率fc,由软件实现采集和滤波,采用定时中断和外部脉冲计数中断相结合的方法来提高采集的准确性.通过大量实验结果得出的气压Pi和fp的关系曲线分4段做非线性曲线拟合,当真空度小于10 Pa时启用事先在微处理器存入的表格进行温度补偿以拓宽测量下限.经测试,在10-5～10-1 Pa内,本真空计的测量精度达10%～15%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	齐本胜	浙江大学信息与电子工程系	3	36	3.0	3.0
2	凌明芳	浙江大学信息与电子工程系	3	18	3.0	3.0
3	王华萍	浙江大学信息与电子工程系	2	15	2.0	2.0