无阿贝误差计量型原子力显微镜

• 作者: H.J.Buechner 赵克功
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量型原子力显微镜 阿贝误差 微型光纤传导平面激光干涉仪
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 页码范围: 87-89
• 页数: 3页
• 分类号: TB92
• 字数: 2392字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2002.02.002

摘要

中国计量科学研究院与德国联邦物理技术研究院、德国伊尔门脑技术大学和耶那蔡司厂合作,于1997年研制成功计量型原子力显微镜.限于当时的技术水平,它还存在有不可忽略的阿贝误差,特别是在x与y方向的阿贝误差可达2～3 nm.所以,在其测量空间范围内,两点间的测量不确定度为:U=5 nm+2×10-4L(L为两点间的距离).本文报导1999年以来在原基础上所作的改进,消除了3个坐标方向上的阿贝误差,将测量不确定度提高到:U=2 nm+1×10-4L.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵克功		10	151	7.0	10.0