标准漏孔校准中若干问题及其解决办法

• 作者: 万昭志 叶盛
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 漏孔校准 吸气与抽气
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 39-41
• 页数: 3页
• 分类号: TB75
• 字数: 2817字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2002.02.012

摘要

定容法标准漏孔校准中器壁吸气及规管抽气会产生-(30%～40%)误差.本文提出用氮气清洗器壁以减少其吸放气速率,并以氮气代替空气校准;不扣除本底压强上升速率;规管与校准容器间加装一只阀门以减少规管抽气对校准的影响等办法来减少误差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	万昭志		1	1	1.0	1.0
2	叶盛		1	1	1.0	1.0