改建CVD系统制备金刚石薄膜

• 作者: 吴小国 常明 曲长庆 朱宁 陈希明
• 来源期刊: 天津理工学院学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 化学气相沉积(CVD) 金刚石薄膜 Raman光谱 X射线衍射
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 页码范围: 5-6,16
• 页数: 3页
• 分类号: O484.4
• 字数: 1114字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-095X.2002.02.002

摘要

用一台常规的真空镀膜机改建为化学气相沉积 (CVD)系统,并用以制备金刚石薄膜.采用SEM、XRD、Raman测试表明,金刚石薄膜质量较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈希明	天津理工学院光电信息与电子工程系	34	136	7.0	9.0
2	吴小国	天津理工学院光电信息与电子工程系	10	33	5.0	5.0
3	朱宁	天津理工学院光电信息与电子工程系	16	49	4.0	6.0
4	常明	天津理工学院光电信息与电子工程系	27	173	8.0	11.0
5	曲长庆	天津理工学院光电信息与电子工程系	6	18	3.0	4.0