磁控溅射法在有机衬底上制备SnO2掺Sb透明导电膜

• 作者: 万云芳 杨光德 杨田林 高绪团
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 有机衬底 SnO2:Sb透明导电膜 射频磁控溅射
• 年，卷（期）: 2002,（12）
• 所属期刊栏目: 支撑技术
• 页码范围: 64-67
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 2785字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2002.12.020

摘要

采用射频磁控溅射法在有机柔性衬底上制备出了SnO2:Sb透明导电膜,讨论了薄膜的结构和光电性质对制备条件的依赖关系.制备的样品为多晶薄膜,并且保持了氧化锡的金红石结构.对衬底适当地加热,当衬底温度为200℃时,在PI(聚酰亚胺)胶片上制备出了性能良好的薄膜,薄膜相应自由载流子霍耳迁移率的最大值为1 3.9cm2/V@s,载流子浓度为15.5×1019cm-3,薄膜电阻率的最小值为3.7×103Ω@cm.在可见光范围内,样品的相对透过率为85%左右.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	万云芳	山东理工大学物理系	15	77	5.0	8.0
2	杨田林	山东理工大学物理系	8	75	6.0	8.0
3	高绪团	山东理工大学物理系	8	96	6.0	8.0
4	杨光德	山东理工大学物理系	4	29	3.0	4.0