RF/微波无线系统中的MEMS技术

• 作者: 云振新
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: RF/微波MEMS元件 RF/微波无线系统 MEMS技术
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 专家论谈
• 页码范围: 6-11
• 页数: 6页
• 分类号: TN925|TH703
• 字数: 6396字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2002.02.002

摘要

着重论述了RF/微波MEMS元件及其制造技术、封装要求和设计,并在此基础上阐述RF/微波MEMS元件的应用电路和系统.