类金刚石膜的应用及制备

• 作者: 邓新绿 马国佳
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石(DLC) sp3键 属性 应用与制备
• 年，卷（期）: 2002,（5）
• 所属期刊栏目: 专家聚焦
• 页码范围: 27-31
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4|TG155
• 字数: 5056字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2002.05.005

摘要

类金刚石膜(DLC)是由无定形碳和金刚石相混合组成的碳材料,由于具有与金刚石膜(DF)相类似的性能--优异的机械特性、电学特性、光学特性、热学和化学特性以及生物相溶性,同时制备方法相对容易实现,因此引起人们极大兴趣,现在已经应用到很多领域.本文将简要介绍类金刚石膜的性能、应用以及制备方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓新绿	大连理工大学三束实验室	28	356	9.0	17.0
2	马国佳	大连理工大学三束实验室	7	122	5.0	7.0