Raphael-深亚微米集成互连参数仿真优化系统

• 作者: 李惠军 赵攀岭 陈慧凯
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路 计算机辅助设计 集成布线 寄生参数
• 年，卷（期）: 2002,（10）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 35-39
• 页数: 5页
• 分类号: TN402
• 字数: 2977字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2002.10.008

摘要

针对超深亚微米层次下的金属互连设计,使用Raphael(集成布线互连)仿真系统完成了互连寄生效应参数的提取.介绍了Raphael仿真系统的主要功能及基本应用,并分析了常规集成布线互连参数模型.采用二层跨越式互连结构,对寄生电阻、电容参数进行了仿真,并得到电流密度的分布结果.这些参数的提取及验证对电路的布局设计是十分重要的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李惠军	山东大学信息科学与工程学院	51	103	5.0	7.0
2	陈慧凯	山东大学信息科学与工程学院	8	16	2.0	3.0
3	赵攀岭	山东大学信息科学与工程学院	1	0	0.0	0.0