非晶ZrO2-SiO2系薄膜及微细图形的制备

• 作者: 赵桂荣 赵高扬
• 来源期刊: 材料研究学报
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 氧化锆-氧化硅薄膜 化学修饰 光吸收 微细图形
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 168-171
• 页数: 4页
• 分类号: TB43.TB383
• 字数: 2303字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-3093.2002.02.011

摘要

采用溶胶-凝胶与化学修饰相结合的方法制备了ZrO2 SiO2系薄膜.研究了这种凝胶薄膜的FT-IR光谱特性及随紫外线照射时的变化.发现在1600～1400 cm-1之间有一些与含锆螯合物相关的峰.这些峰值随紫外线照射而减弱.表明这些螯合物发生分解.伴随着螯合物的分解.薄膜在乙醇中的溶解能力也发生变化.利用这种特性.紫外光通过掩膜照射凝胶薄膜.用有机溶剂溶洗后.获得凝胶薄膜的微细图形.再进行热处理.消除薄膜中的有机物就可得到非晶质ZrO2 SiO2系薄膜的微细图形.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵桂荣		1	10	1.0	1.0
2	赵高扬		1	10	1.0	1.0