干涉显微镜中相移误差分析

• 作者: 徐毓娴 惠梅 董小满 蔡昕
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微分干涉显微镜 相移误差 算法
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 光学仪器与设计
• 页码范围: 539-540
• 页数: 2页
• 分类号: TH742.5
• 字数: 1885字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2002.06.022

摘要

相移误差是影响干涉显微镜测量表面形貌精度的主要因素之一.介绍了四帧算法、五帧算法、四帧免疫算法、五帧免疫算法的原理和计算公式,并对其特点进行了分析比较 .利用自行研制的带旋转检偏器的干涉显微测量系统,分别用四种算法对Ra=0.35μ m和Ra=0.09μm粗糙度样块进行了实测.结果表明,五帧算法的重复测量精度优于0. 5nm,五帧免疫算法的重复测量精度优于0.3nm.同时对在普通干涉显微镜上进一步提高其测量精度做了初步探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐毓娴	清华大学精密仪器与机械学系	21	417	10.0	20.0
2	董小满	清华大学精密仪器与机械学系	6	25	3.0	5.0
3	惠梅	中国科学院西安光学精密机械研究所	5	122	4.0	5.0
4	蔡昕	清华大学精密仪器与机械学系	5	99	5.0	5.0