准分子激光刻蚀聚合物微图形制作研究

• 作者: 李铁军 楼祺洪 章琳 董景星 魏运荣 黄峰
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 紫外准分子激光 刻蚀 PI 微图形制作
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 应用
• 页码范围: 94-96
• 页数: 3页
• 分类号: TN248.5
• 字数: 2009字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2002.02.019

摘要

主要描述了紫外准分子激光刻蚀聚酰亚胺(polyimide,PI)制作微图案实验.通过这种刻蚀方法,成功地在PI上制作了微米量级线宽和亚微米量级深度的图案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	楼祺洪	中国科学院上海光学精密机械研究所	131	1539	22.0	31.0
2	董景星	中国科学院上海光学精密机械研究所	93	890	17.0	23.0
3	魏运荣	中国科学院上海光学精密机械研究所	86	833	17.0	23.0
4	李铁军	中国科学院上海光学精密机械研究所	108	1387	21.0	30.0
5	黄峰	中国科学院上海光学精密机械研究所	36	194	7.0	12.0
6	章琳	中国科学院上海光学精密机械研究所	7	63	4.0	7.0