硅光棚的制作与应用

• 作者: 吴一军 王立鼎 鞠挥
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 硅 光栅 微加工技术
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 29-33
• 页数: 5页
• 分类号: O436.1
• 字数: 4427字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2002.02.007

摘要

硅是一种良好的近红外材料.硅光栅的发展迄今已有20多年历史,在制作方法和应用上都有了较大的发展.硅光栅的微加工工艺可以分为体硅工艺和面硅工艺,这些微加工方法在技术上与微电子及微机械工艺可以兼容.本文介绍了硅光栅的制作及其在不同领域的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王立鼎		130	1877	24.0	38.0
2	鞠挥	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	9	256	4.0	9.0
3	吴一军	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	1	0	0.0	0.0