优化HFCVD系统内衬底温度场的数值研究

• 作者: 戚学贵 王冠中 陈则韶
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 地球科学
• 关键词: 热丝化学气相沉积 金刚石薄膜 变热物性 传热 数值模拟 优化
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 260-264
• 页数: 5页
• 分类号: TQ164.8|P423
• 字数: 3416字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2002.04.005

摘要

热丝对衬底的辐射是决定热丝化学气相沉积金刚石薄膜系统内衬底表面温度分布的主要因素.本文基于辐射传热基本原理,并考虑变热物性衬底的横向热传导,改进了衬底温度场的计算模型.数值模拟了衬底表面所受辐射热流密度分布和温度分布,结果表明辐射热流密度分布与辐射热平衡得到的温度分布形状一致,而衬底横向热传导提高了温度分布的均匀性.进一步计算并讨论了环境温度和热丝高度、数目、间距等几何参数对衬底表面所受辐射热流密度分布和温度分布的影响,给出获得8 cm×8 cm大面积均温区对应的热丝几何参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王冠中	中国科学技术大学物理系	12	58	5.0	7.0
2	陈则韶	中国科学技术大学工程科学学院	108	1106	18.0	26.0
3	戚学贵	中国科学技术大学工程科学学院	13	152	6.0	12.0