聚光器薄膜附着力机理与制备工艺的探讨

• 作者: 王军 赵民 赵永赞
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 聚光器 薄膜 附着力 应力
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 真空镀膜专辑
• 页码范围: 47-49
• 页数: 3页
• 分类号: TK519
• 字数: 2697字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2002.03.013

摘要

研究太阳能聚光器薄膜在制备过程中附着力存在的有关问题.阐述薄膜在生长过程中影响薄膜附着力的各种因素,针对其相关因素作了具体的理论分析,并在真空镀膜实验的基础上,探讨了提高蒸发镀膜附着力的具体方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵民		148	521	11.0	15.0
2	王军		100	547	12.0	17.0
3	赵永赞		23	139	8.0	11.0