微硅加速度计技术综述

• 作者: 赵连元 顾英
• 来源期刊: 飞航导弹
• 关键词: 微硅加速度计 性能 惯性测量装置
• 年，卷（期）: 2002,（9）
• 所属期刊栏目: 控制与制导
• 页码范围: 44-47
• 页数: 4页
• 字数: 4797字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-1319.2002.09.014

摘要

综述了微硅加速度计的发展概况,叙述了力平衡式微硅加速度计的基本原理、国外一些厂家的研制情况和对战术级微型惯性测量装置的推动作用,提出了对发展硅微加工技术的初步想法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾英	中国航天科工集团公司三院三十三所	2	134	2.0	2.0
2	赵连元	中国航天科工集团公司三院三十三所	1	16	1.0	1.0