MEMS概况及发展趋势

• 作者: 张大成 张威 王阳元
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 微传感器 微执行器
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 专家论谈
• 页码范围: 22-27
• 页数: 6页
• 分类号: TH703|TH70
• 字数: 6546字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2002.01.007

摘要

主要介绍了MEMS的发展背景、研究内容、特点、现状和发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王阳元	北京大学微电子所	78	1128	15.0	32.0
2	张大成	北京大学微电子所	43	793	13.0	27.0
3	张威	北京大学微电子所	31	474	10.0	21.0