信息MEMS技术

• 作者: 杨拥军 赵正平
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 信息MEMS 光MEMS/MOEMS RF MEMS 光通信 移动通信
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 专家论谈
• 页码范围: 6-11,45
• 页数: 7页
• 分类号: TN925|TH703
• 字数: 6484字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2002.03.003

摘要

介绍了信息MEMS技术的研究内容和研究进展,分析了信息MEMS技术对光通信和移动通信的影响,提出了我国发展信息MEMS技术的建议.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨拥军		4	85	3.0	4.0
2	赵正平		1	18	1.0	1.0