Si基片上Ag膜的微结构及光学常数研究

• 作者: 何玉平 孙兆奇 孙大明 李爱侠 赵宗彦
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Ag薄膜 微结构 光学常数 椭偏光谱
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 69-72,60
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3613字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2002.01.017

摘要

用真空蒸镀法在室温Si基片上制备了Ag薄膜,并用X射线衍射及反射式椭偏光谱技术对薄膜的微结构和光学常数进行了测试分析.结构分析表明:制备的Ag膜晶体仍为面心立方结构,呈多晶状态,晶粒择优取向于[111],平均晶粒尺寸约为22.7 nm,晶格常数(0.40860 nm)比标准值(0.40862 nm)略小.在250～830 nm波长范围椭偏光谱测量结果表明:Ag膜的折射率和消光系数分别在0.15～1.49和0.31～5.77之间.与块材相比,在块材的折射率大于一定值(1.00～1.33)时,Ag膜的折射率比块材的小,其余范围则增大;Ag膜的消光系数减小.并给出了一套较为可靠的、具有实用价值的Ag薄膜光学常数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵宗彦	安徽大学物理系	24	138	6.0	10.0
2	孙兆奇	安徽大学物理系	91	563	11.0	16.0
3	李爱侠	安徽大学物理系	37	194	9.0	11.0
4	何玉平	安徽大学物理系	8	104	6.0	8.0
5	孙大明	安徽大学物理系	13	101	6.0	9.0