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摘要:
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一种光刻胶专用树脂的生产方法及应用
光刻胶
专用树脂
生产工艺
应用
光刻胶级214-磺酰氯的生产方法及应用
光刻胶
214-磺酰氯
生产方法
应用
光敏聚酰亚胺的合成
光敏聚酰亚胺
共聚
耐热性
聚酰亚胺涂层胶研究进展
微电子
聚酰亚胺
涂层胶
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 光敏聚酰亚胺光刻胶PSPI
来源期刊 科技开发动态 学科 工学
关键词 PSPI-H型 光敏聚酰亚胺胶 光刻胶
年,卷(期) 2002,(12) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 26
页数 1页 分类号 TQ436
字数 语种 中文
DOI
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2002(0)
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研究主题发展历程
节点文献
PSPI-H型
光敏聚酰亚胺胶
光刻胶
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
科技开发动态
双月刊
1003-014X
CN 11-2681/N
北京市中关村北四环西路33号
出版文献量(篇)
5181
总下载数(次)
14
总被引数(次)
0
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