介质型膜密集波分复用滤光片膜厚监控的研究

• 作者: 于继荣 周保青 常天海 黄光周
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 膜厚监控 密集波分复用 滤光片 介质膜
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 5-7
• 页数: 3页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2085字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2002.02.002

摘要

高精度高性能的光学薄膜膜厚监控系统是制备密集波分复用滤光片的关键,本文提出了一种非1/4波长膜系监控膜厚的方法,该方法所采用的系统具有稳定性好、波长分辨率高等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄光周	华南理工大学电子与通信工程系	26	189	9.0	13.0
2	于继荣	华南理工大学电子与通信工程系	16	84	5.0	8.0
3	常天海	华南理工大学电子与通信工程系	67	317	10.0	14.0
4	周保青	华南理工大学电子与通信工程系	1	4	1.0	1.0